Thông thường có 3 loại lọc khí dùng trong phòng sạch:
- Lọc khí thô – lọc sơ cấp
- Lọc tinh – lọc khí thứ cấp
- Lọc khí HEPA – lọc hiệu suất cao – lọc cuối
1. Lọc thô (lọc sơ cấp): Đây là loại lọc có cấp độ thô nhất trong hệ thống lọc khí phòng sạch, cấp độ lọc đạt từ 50 – 95% với cỡ hạt bụi thông thường >= 20 micron.
2. Lọc tinh (lọc thứ cấp): Đây là loại lọc có cấp độ lọc đứng thứ 2 trong hệ thống lọc khí phòng sạch, cấp độ lọc đạt từ 50 – 95% với cỡ hạt bụi thông thường >= 0,5 micron.
3. Lọc HEPA/ULPA là một trong những loại lọc khí được sử dụng nhiều nhất, đặc biệt trong các ngành y tế, dược phẩm và thực phẩm. Các tạp chất sẽ gần như bị loại bỏ hoàn toàn khi luồng khí lưu thông qua màng lọc loại này. Là cấp độ lọc cuối cùng của hệ thống lọc khí phòng sạch, những loại này thường dùng là lọc HEPA, lọc HEPA H13 với cấp độ lọc 0,3micron, hiệu xuất là 99, 97 – 99,99%, nếu cấp độ cao hơn thì là tiêu chuẩn H14 với hiệu xuất lọc đạt được 99,999%
